早在2011年英唐智控子公司日本英唐微技術有限公司開始研發用于HUD和Pico投影儀的MEMS微振鏡。隨著技術迭代，后續開始研發用于汽車激光雷達的MEMS微振鏡，并在2020年成功實現量產。為了進一步加大在車載激光雷達領域的研發和生產力度，英唐智控于2022年募集專項資金，用于MEMS微振鏡產品的研發與生產。此次新一代8毫米MEMS微振鏡的發布推動了英唐智控自主研發半導體戰略布局的進程，也為未來英唐智控（集團）的戰略發展增添動力。

      MEMS微振鏡的鏡面尺寸對激光雷達的測距能力至關重要，特別是在同軸結構的激光雷達中，較大尺寸的MEMS微振鏡能夠增加出光和收光量，從而極大地擴展雷達的掃描距離并提升其測距能力。此次英唐智控推出新一代產品，相較已經發布的1毫米、4毫米規格，具備更大的鏡面尺寸，適用于長距車載激光雷達, 擁有諸多優勢：

•    驅動電壓小，FOV寬廣

       采用電磁驅動，相較于靜電驅動、壓電驅動等驅動方式而言，電磁驅動所需的電壓僅3V，可靠性高，并且能實現更寬廣的FOV（30°x25°）。

•    H/V二維掃描，雙軸低串擾

      采用雙軸獨立驅動的模式，可進行二維掃描。其中H軸屬于諧振式驅動，V軸屬于線性驅動(光柵掃描)；兩軸驅動信號之間低串擾。

•    高效率&低功耗并存

      H軸諧振頻率達800Hz，V軸驅動頻率為1~100Hz(10Hz)；鏡面鍍金，反射率達到97%， 可實現更高水平的成像精度和分辨率。同時，該產品功耗低至136mW，掃描更為高效。

•    體積小重量輕，助力激光雷達小型化

    封裝尺寸壓縮至24.8*23.14*7.58（mm），重量僅11g。在擺脫傳統體積較大的機械運動裝置的同時，減少了激光器和探測器數量，整體上使激光雷達體積和成本更可控。

•    類車規級別可靠性

       針對車載溫度要求高，以及鏡面直徑需求越來越大，懸臂梁結構難以支撐的技術難點。英唐智控對單一MEMS微振鏡進行類車規級別（低溫-40℃，高溫105℃）內部可靠性驗證，佐以10-2000Hz，3.11GRMS，20hrs, 6axis規格的振動驗證。測試結果顯示，英唐智控此前發布的MEMS微振鏡產品在該級別要求的溫度、濕度、振動、沖擊等測試中均表現良好，能耐受該級別溫度變化、振動與沖擊，滿足激光雷達在車載工作環境中的可靠性要求。

      在深入了解國內激光雷達客戶需求的基礎上，結合英唐智控數十年技術沉淀，推出了全新一代大尺寸MEMS微振鏡產品，為行業帶來更先進的解決方案。

      英唐智控的最新一代MEMS微振鏡產品在繼承前代產品可芯片化、無機械組件和毫米級尺寸等特性的基礎上，進一步優化了產品的體積和成本，并在可靠性、量程等方面實現了技術的重大突破。

歡迎產品咨詢與技術交流

 產業子公司：深圳市英唐極光微技術有限公司

聯系人：Shelly  15713792025

郵箱：xiaowen.huang@miebian.cn